新华网东京８月６日电（记者张可喜）日本大阪大学科学家竹田精治教授近日开发成功纳米级加工技术。这种技术可用于制造超小型半导体元件。

    据日本报纸报道，这种技术使用电子束照射硅晶体的表面后，硅原子会吸收电子束的能量而发生运动，从而使硅晶体表面形成凸凹，其直径（相连的峰与峰或者谷与谷之间的距离）比流感病毒还要小，仅５纳米（１纳米为１０亿分之一米），而深度（峰与谷之间的垂直距离）是直径的５倍；照射电子束时，改变硅表面的温度，还可以改变凸凹的排列方向。据认为，这就是原子等自然形成有规则结构的所谓“自我组织化”现象。

    竹田精治教授说，这一技术可以应用到制造超小型的电容器等半导体元件上，而且成本比较低廉。（完）